MD—B型负胶显影漂洗液
类别
规范
醋酸丁酯(C6H12O6)含有量(Vol%)
48.0±1.5
密度(20℃,g/ml)
0.820±0.005
水份,%
0.05
杂质最高含量,ppb
不挥发物
20000
钠(Na)
100
钾(K)
50
镁(Mg)
50
钙(Ca)
50
铁(Fe)
100
铜(Cu)
50
锰(Mn)
50
颗粒,(个/ml)
≥0.5μm,max
200
1.性状
无色透明易挥发液体,易燃,有酯的香味,不溶于水。
2.用途
环化橡胶型负性光刻胶的显影漂洗二合为一。
3.使用方法
一般将待显影漂洗的硅片用喷淋显影漂洗一次完成。
4.贮存、运输及使用注意事项
易燃液体。密闭包装,并贮存于阴凉通风处,防火。
UN N0:1992 CN NO:32200
操作时工作场所必须保持通风。
5.包装及标志
2.5升玻璃瓶包装。易燃品。