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MD—B型负胶显影漂洗液
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类别
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规范
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醋酸丁酯(C6H12O6)含有量(Vol%)
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48.0±1.5
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密度(20℃,g/ml)
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0.820±0.005
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水份,%
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0.05
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杂质最高含量,ppb
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不挥发物
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20000
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钠(Na)
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100
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钾(K)
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50
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镁(Mg)
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50
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钙(Ca)
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50
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铁(Fe)
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100
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铜(Cu)
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50
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锰(Mn)
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50
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颗粒,(个/ml)
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≥0.5μm,max
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200
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| 1.性状 无色透明易挥发液体,易燃,有酯的香味,不溶于水。 2.用途 环化橡胶型负性光刻胶的显影漂洗二合为一。 3.使用方法 一般将待显影漂洗的硅片用喷淋显影漂洗一次完成。 4.贮存、运输及使用注意事项 易燃液体。密闭包装,并贮存于阴凉通风处,防火。 UN N0:1992 CN NO:32200 操作时工作场所必须保持通风。 5.包装及标志 2.5升玻璃瓶包装。易燃品。 |
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