ZX—238型正胶显影液
类别
规范
含量(TMAH),%
2.38±0.01
色度,Hazen,max
10
过滤器
经0.1μm滤器过滤
杂质最高含量,ppb
钠(Na)
10
钾(K)
10
镁(Mg)
10
钙(Ca)
10
铁(Fe)
10
镍(Ni)
10
铜(Cu)
10
铅(Pb)
10
锰(Mn)
10
锌(Zn)
10
铬(Cr)
10
银(Ag)
10
颗粒,(个/ml)
≥0.5μm,max
50
1.性状
无色的有机碱性水溶液,有特殊臭味,有腐蚀性。
2.用途
IC、LCD制造用正性光刻胶的显影剂。可防止和减少钠离子的污染,改善应用性能,具有显影干净、亲和力性能好等优点,有利于提高分辩力。
3.贮存、运输
腐蚀液体。密闭包装,不可与空气接触,并贮存于阴凉通风干燥处。
UN N0:1835 CN NO:82019
4.包装及标志
4L、20L、200L聚乙烯瓶(桶)包装。腐蚀品。