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二、超净高纯试剂系列 |
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类别
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品名
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英文名
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分子式
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级别
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SL
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UL
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VL(CMOS)
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EL
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1.
酸
碱
类
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过氧化氢 |
Hydrogen Peroxide,30% |
H2O2 |
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| 硫酸 |
Sulfuric Acid |
H2SO4 |
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| 盐酸 |
Hydrochloric Acid |
HCl |
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| 硝酸 |
Nitric Acid,70% |
HNO3 |
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| 发烟硝酸 |
Nitric Acid Fuming |
HNO3 |
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| 磷酸 |
Phosphoric Acid |
H3PO4 |
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| 氢氟酸 |
Hydrofluoric Acid |
HF |
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| 冰乙酸 |
Acetic Acid,Glacial |
CH3COOH |
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| 氨水 |
Ammonium Hydroxide |
NH3·H2O |
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| 氟化铵 |
Ammonium Fluoride,40% |
NH4F |
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| 氢氧化钾溶液 |
Potassium Hydroxide Liquid |
KOH |
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| 氢氧化钠溶液 |
Sodium Hydroxide Liquid |
NaOH |
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2.
腐
蚀
剂
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氟化铵腐蚀液(BOE) |
Ammonium Fluoride Etchants |
NH4F·HF |
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| 铝腐蚀液(PES) |
Aluminum Etchants |
H3PO4·HNO3·CH3COOH |
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| 硅腐蚀液(MAE) |
Silicon Etchants |
HNO3·HF·CH3COOH |
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| 管脚孔腐蚀液(PAD) |
Pad Etchants |
NH4F·CH3COOH |
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| 铬腐蚀液 |
Cr Etchants |
HNO3·CAN |
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| ITO腐蚀液 |
ITO Etchants |
HNO3·HCl |
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3.
溶
剂
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甲醇 |
Methanol |
CH3OH |
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| 乙醇 |
Ethanol |
C2H5OH |
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| 异丙醇 |
IPA |
CH3CHOHCH3 |
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| 丙酮 |
Acetone |
(CH3)2CO |
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| 醋酸丁酯 |
n-Butyl Acetate |
C6H12O2 |
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| 甲苯 |
Toluene |
C6H5CH3 |
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| 二甲苯 |
Xylenes |
C8H10 |
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| 三氯乙烯 |
Trichloroethylene |
C2HCl3 |
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■
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■
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| 三氯乙烷 |
1.1.1—Trichloroethane |
CH3CCl3 |
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| 环已烷 |
Cyclohexane |
C6H12 |
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| N-甲基吡咯烷酮 |
N-methyl-2-pyrrolidinone |
CH3N(CH2)3CO |
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| 丙二醇单甲醚 |
PGME |
PGME |
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| 丙二醇单甲醚醋酸酯 |
PGMEA |
PGMEA |
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EL级:优于美国SEME C1标准,控制1μm颗粒,控制十多个金属元素,单项金属元素控制在100PPb。
VL级:介于EL与UL之间,控制0.5μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10~100PPb。
UL级:等同于美国SEME C7标准,控制0.5、0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在10PPb以下。
SL级:等同于美国SEME C8标准,控制0.3μm颗粒,控制三十多个金属元素,单项金属元素控制在1PPb以下。 |
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品名
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英文名
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分子式
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级别
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高纯
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GR
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AR
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| 过氧化氢 |
Hydrogen Peroxide,30% |
H2O2 |
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| 硫酸 |
Sulfuric Acid |
H2SO4 |
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| 盐酸 |
Hydrochloric Acid |
HCl |
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| 硝酸 |
Nitric Acid,70% |
HNO3 |
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| 氢氟酸 |
Hydrofluoric Acid |
HF |
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| 氢氧化钠 |
Sodium Hydroxide |
NaOH |
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| 无水乙醇 |
Ethanol |
C2H5OH |
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| 清洗剂 |
Cleans |
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| 盐酸 |
Hydrochloric Acid |
HCl |
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| 液碱 |
Sodium Hydroxide Liquid |
NaOH |
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| PCB专用化学品等 |
PCB specialized chemicals |
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GR(优级纯)级:Guaranteed Reagent
AR(优级纯)级:Analytical Reagent |
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